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扫描电子显微镜
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜,电子光学镜筒设计优化,综合像差降低了 30%,从而达到了0.5 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性,可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。